合肥鴻昇自動化股份有限公司是一家傳感器生產(chǎn)企業(yè)。

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材料、MEMS芯片、驅(qū)動器和應(yīng)用軟件是智能傳感器實(shí)現(xiàn)這些功能的核心技術(shù)，尤其是MEMS芯片，以其體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、可與微處理器集成等優(yōu)點(diǎn)成為智能傳感器的重要載體。以常用的溫度、壓力、光學(xué)和RFID傳感器為例，介紹了基于MEMS的智能傳感器的技術(shù)進(jìn)展。

①智能溫度傳感器

智能溫度傳感器適用于冶金、石化、石油、化工、制藥、造紙、印染、釀造、環(huán)保、電力等行業(yè)。目前，智能溫度傳感器正朝著高精度、多功能、總線標(biāo)準(zhǔn)化、高可靠性和安全性、虛擬傳感器和網(wǎng)絡(luò)傳感器的發(fā)展以及單片機(jī)測溫系統(tǒng)的發(fā)展方向快速發(fā)展。目前，國外已經(jīng)推出了多種高精度、高分辨率的智能溫度傳感器。采用9-12位A/D轉(zhuǎn)換器，分辨率可達(dá)0.5-0.625℃。美國達(dá)拉斯半導(dǎo)體公司最新研制的DS1624高分辨率智能溫度傳感器，可輸出13位二進(jìn)制數(shù)據(jù)，分辨率為0.03℃，測溫精度為0.2℃。

② 智能壓力傳感器

基于MEMS技術(shù)的智能壓力傳感器具有小型化、低成本、易集成的優(yōu)點(diǎn)。它的壓力感應(yīng)范圍也很廣，從1 kPa到100 MPa。它可廣泛應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)、汽車、空氣動力學(xué)、過程控制和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。目前，智能壓力傳感器技術(shù)的研究重點(diǎn)致力于降低其靈敏度和線性度之間的矛盾，從而提高傳感器精度[3]。BPS140是美國伯恩公司開發(fā)的新型壓力傳感器，性能穩(wěn)定。在-40°C至150°C溫度范圍內(nèi)使用時，總誤差為2.5%FS，產(chǎn)品壽命變化為0.5%FS[4]。

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